- Accueil
- Institut Néel
- Équipes de recherche
- Pôles & Services techniques
- Travailler à l’institut
- Partenariats
- Actualités
- Agenda
- Annuaire
Nanofab est à la fois une centrale de proximité, reconnue par le Ministère de la Recherche et un pôle technologique de l’Institut Néel.
©CNRSPhototheque-CyrilFRESILLON
La Plateforme Nanofab est totalement insérée dans un laboratoire de recherche, très ouverte aux autres laboratoires (CEA, CNRS, UGA, G-INP) dans son fonctionnement et destinée à la réalisation d’objets nanométriques, souvent uniques en utilisant un nombre limité d’étapes lithographiques. Les demandes des équipes de recherches, issues ou non du monde « nano » sont souvent très « exotiques » en termes de besoins technologiques. Nanofab est ainsi souvent amené a développer des solutions techniques originales, parfois spécifiques à un échantillon, et aussi parfois à orienter ces projets vers d’autres centrales plus compétentes dans le domaine.
La salle blanche accueille chercheurs et étudiants de l’Institut Néel et des Laboratoires voisins. Thésards, post-docs et stagiaires sont formés aux techniques de nanofabrication. Des Travaux Pratiques sont organisés à destination des étudiants de l’UGA ( TP Cesire) ou de l’ESONN.
La salle blanche a une superficie de 220 m2. Elle est installée dans le nouveau Bâtiment Nanosciences de l’Institut Neel inauguré en 2013.
Bâtiment Z ©CNRSPhototheque-CyrilFRESILLON
Lithographie électronique et ionique (FIB)
Lithographie optique UV et DUV
Écriture directe, lithographie par faisceau laser
Dépôts métalliques par évaporation et pulvérisation
Dépôts d’Isolants par ALD et pulvérisation
Équipements de caractérisation et de Back-End
Voir en détail la liste des équipements disponible pdf | Page dédiée
