Lithography through suspended mask (left) and on AFM tip (right)

Nanofab

Nanofab est une centrale de micro-nanofabrication dédiée à la réalisation d’objets pour la recherche fondamentale, essentiellement par des techniques de Lithographie. Nanofab est à la fois une centrale de proximité, reconnue par le Ministère de la Recherche et un pôle technologique de l’Institut Néel.

salle blanche- heidelberg

©CNRSPhototheque-CyrilFRESILLON

La Plateforme Nanofab est totalement insérée dans un laboratoire de recherche, très ouverte aux autres laboratoires (CEA, CNRS, UGA, G-INP) dans son fonctionnement et destinée à la réalisation d’objets nanométriques, souvent uniques en utilisant un nombre limité d’étapes lithographiques. Les demandes des équipes de recherches, issues ou non du monde « nano » sont souvent très « exotiques » en termes de besoins technologiques. Nanofab est ainsi souvent amené a développer des solutions techniques originales, parfois spécifiques à un échantillon, et aussi parfois à orienter ces projets vers d’autres centrales plus compétentes dans le domaine.

La salle blanche accueille chercheurs et étudiants de l’Institut Néel et des Laboratoires voisins. Thésards, post-docs et stagiaires sont formés aux techniques de nanofabrication. Des Travaux Pratiques sont organisés à destination des étudiants de l’UGA ( TP Cesire) ou de l’ESONN.

La salle blanche a une superficie de 220 m2. Elle est installée dans le nouveau Bâtiment Nanosciences de l’Institut Neel inauguré en 2013.

Bâtiment Z ©CNRSPhototheque-CyrilFRESILLON

Les principales technologies de nanofabrication disponibles sont les suivantes :

- Lithographie électronique et ionique (FIB)

- Lithographie optique UV et DUV

- Écriture directe, lithographie par faisceau laser

- Dépôts métalliques par évaporation et pulvérisation

- Dépôts d’Isolants par ALD et pulvérisation

- Gravures RIE, IBE, Chimiques

- Équipements de caractérisation et de Back-End

Pour aller plus loin

- Voir en détail la liste des équipements disponible pdf | Page dédiée

ALIS

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ALIS (Achat magasin, Liquéfacteur, Infrastructures, Sécurité) est un service qui regroupe 3 structures, chargées chacune, d’une mission de support à la recherche.
Administration

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La mission du service administratif est d’assurer l’ensemble des tâches concernant l’administration, la communication et la documentation au sein de l’institut
Automatisation et Caractérisation

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Offrir aux chercheurs le meilleur accès à l’information scientifique et technique dans les domaines variés de la physique de la matière condensée
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Réaliser des dispositifs de mesures thermométriques et calorimétriques de haute sensibilité, et des équipements pour effectuer des analyses fines sur des systèmes nanostructurés ou biologiques.
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Fonctionnement, développement et animation scientifique des expériences installées par le CNRS sur les très grands instruments, ESRF et ILL
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Les principales missions du service gestion sont la mise en place du budget de l’Institut Néel , son exécution.et son contrôle (dépenses de fonctionnement et d’équipement, missions, au titre des 2 tutelles CNRS -UJF).
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Etudes, réalisations et mises au point d’appareillages de mesures physiques et d’ensembles mécaniques. Gestion et la maintenance de magnétomètres.
Nanofab

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Développement de procédés de micro et nanofabrication pour la recherche fondamentale
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Etude, conception et développement de systèmes optomécaniques - Gestion, maintenance et formation sur spectromètres optique (Raman, FTIR..), microscope à cathodoluminescence et profilomètre optique
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L’expertise de l’équipe TEMA (Traitement Elaboration Matériaux Applications) concerne la synthèse d’alliages sous diverses formes (massifs, poudres ou couches) ainsi que les caractérisations microstructurales et des propriétés fonctionnelles associées.
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Instrumentation pour la synthèse de matériaux, notamment sous hautes pressions et hautes températures, et leur caractérisation par diffraction des rayons X
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