Suspended calorimeter for ultra-sensitive sensors

salle d’élaboration

 

salle d'élaboration salle d’élaboration






 Bati de dépots magnétrons :
 1 source magnétron RF
 2 sources magnétrons DC







 Bati de dépot assistés :
 1 source magnétron RF
 1 source magnétron DC
 1 source ionique Veeco
 1 double évaporateur effet joule








 Bati de gravure ionique :
 1 source ionique Veeco







 Four de recuit de polymères sous atmosphère
 controlée ou sous vide
 Tmax : 900°C









 Bati de depôt parylène :
 dimer : type N,C,D et F










 Bati de gravure par plasma O2












 Polisseuse dia 200mm et rodeuse dia 300mm

 

 

 


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