Accueil du site Séminaires Soutenance de Thèse

Soutenance de Thèse

Vendredi 13 décembre 2013 à10h00,
Salle Rémy Lemaire, K223

Orateur : Gauthier Chicot
"Effet de champ dans le diamant dopé au bore"

Abstract

Dans ce projet de thèse, deux voies visant l’élaboration de transistors à effet de champ en diamant ont été explorées : le delta-doping et la structure métal oxyde semi-conducteur (MOS).

Plusieurs couches nanométriques delta-dopées au bore ont été épitaxiées et caractérisées par effet Hall. Un mécanisme de conduction par saut a été détecté dans les couches isolantes. Une mobilité de 3±1 cm2/Vs a été mesurée dans toutes les couches delta-dopées présentant une conduction métallique, quelque soit leur épaisseur (de 2 nm à 40 nm).

Des structures MOS ont été fabriquées en utilisant de l’oxyde d’aluminium déposé par ALD (Atomic Layer Deposition) sur une surface oxygénée de diamant. Les mesures capacité tension ont montré que les régimes d’accumulation, de déplétion et de déplétion profonde pouvaient être contrôlés par la tension de grille, ouvrant ainsi la voie pour la fabrication de MOSFET en diamant.

Dans la même rubrique

© Institut Néel 2012 l Webdesign chrisgaillard.com l Propulsé par spip l Dernière mise à jour : jeudi 6 décembre 2018 l