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Microscopie Electronique à Balayage et Microanalyses (EDS-WDS-EBSD)

Le Pôle dispose de deux Microscopes Electroniques à Balayage et d’une Microsonde de Castaing :

  • un microscope à balayage à effet de champs (ZEISS-Ultra+) pour l’observation de nano-objets
  • un microscope à balayage conventionnel « tungstène » (JEOL 840A) pour la caractérisation d’échantillon à résolution moyenne.
  • une microsonde de Castaing (JEOL8800) pour une analyse chimique juste et de précision du Béryllium à l’Uranium
Les deux microscopes à balayage disposent de systèmes de microanalyse chimique fonctionnant en dispersion d’énergie (EDS). La microsonde utilise cinq spectromètres fonctionnant en dispersion de longueurs d’ondes (WDS).

ZEISS Ultra+
JEOL 840A
Microsonde JEOL 8800

 

Les études menées peuvent se classer en quatre types :

  • morphologique : observations et métrologie d’objet et de nano objets
  • chimique  : détermination de la microstructure et de la composition chimique des phases
  • l’analyse de couches minces : détermination de la composition chimique et de l’épaisseur des couches déposées sur un substrat. Cette activité s’est intensifiée depuis l’émergence de cette thématique au laboratoire (Dépôts par voie Sol-Gel, PVD, MOCVD… ). L’utilisation d’un logiciel (STRATAGem) de traitement off-line des données issues d’analyses EDX effectuées à différentes tensions permet de déterminer l’épaisseur des dépôts et leur composition chimique.
  • analyse cristallographique et de texture : mise en évidence d’orientations cristallographiques préférentielles par cartographie d’orientation ou par figure de pôle...

Outre ses missions de soutien à la recherche, les microscopes sont utilisés lors de travaux pratiques (Master 1 & 2, école d’ingénieur Polytech’, DESS-Master 2P « Contrôle Qualité, assurance qualité et méthode de validation ») et durant les formations internes dispensées aux personnels permanents et stagiaires. Ces microscopes sont également utilisés dans le cadre d’un stage "CNRS Formation Entreprises".

 

Responsable  : Sébastien PAIRIS

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